该薄膜测厚仪主要参数:1. 量程:0-1mm 分度值:0.001mm2. 上测头曲率半径:15-50mm3. 测头对试样施加负荷我:0.1-0.5N4. 测量精度:100vm以内<1vm 100-250vm<2vm 250vm<3vm